TEL Tokyo Electron 2L81-050048-15数字量控制板卡
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
TEL Tokyo Electron 2L81-050048-15 数字量控制板卡（Digital Control Board） 是TEL半导体设备中的关键控制模块，主要负责数字信号的处理与控制执行，实现设备自动化运行中的逻辑控制与状态管理。
一、基本信息
产品名称：数字量控制板卡
型号：2L81-050048-15
制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）
模块类型：数字信号处理与控制模块
应用领域：半导体制造设备自动化控制系统
二、主要功能
数字信号处理
采集和处理来自传感器、开关、外部设备的数字输入信号。
生成控制信号输出，驱动执行机构如继电器、电磁阀、指示灯等。
逻辑控制执行
实现设备运行中的顺序逻辑控制、联锁保护与报警管理。
支持多路信号输入输出，满足复杂工艺流程控制需求。
通信接口
通过专用总线或接口与主控系统（PLC、IPC等）进行数据交换。
支持设备状态实时监控和远程操作。
系统集成
模块化设计，便于与其他控制模块集成，实现系统整体自动化。
三、典型应用领域
刻蚀设备（Etcher）
控制气体流量开关、真空阀门状态、等离子体源启动信号。薄膜沉积设备（CVD/ALD）
监控加热系统、阀门动作、反应气切换控制。晶圆清洗及涂胶显影设备（Wet Station / Track）
实现泵控制、液位检测、工艺顺序逻辑控制。搬运及传送系统
机械手动作指令和安全联锁信号处理。
英文资料：
The TEL Tokyo Electron 2L81-050048-15 Digital Control Board is a key control module in TEL semiconductor equipment, mainly responsible for processing and executing digital signals, realizing logical control and status management in equipment automation operation.
1、 Basic Information
Product Name: Digital Control Board
Model: 2L81-050048-15
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
Module type: Digital Signal Processing and Control Module
Application field: Automation control system for semiconductor manufacturing equipment
2、 Main functions
Digital signal processing
Collect and process digital input signals from sensors, switches, and external devices.
Generate control signal output to drive actuators such as relays, solenoid valves, indicator lights, etc.
Logical control execution
Implement sequential logic control, interlocking protection, and alarm management during equipment operation.
Supports multiple signal inputs and outputs to meet the control requirements of complex process flows.
communication interface
Exchange data with the main control system (PLC, IPC, etc.) through a dedicated bus or interface.
Support real-time monitoring of device status and remote operation.
system integration
Modular design facilitates integration with other control modules to achieve overall system automation.
2.产 品 展 示
3.其他产品
INDRAMAT TDM1.3-050-300-W1-000 驱动模块
4.其他英文产品
ABB P8480 Analog Output Module
Radisys EPC-3307 processor board
| PXIe-4610 | R43GENA-R2-NS-NV-07 | R32HSIC-TS-IS-1V-02 |
| PXIe-4480 | R23HENA-R1-NS-NV-01 | R33GEBC-R2-NS-VS-02 |
| PXIe-4145 | R34KENC-R2-NS-VS-00 | R43SSNA-HS-NS-NV-02 |
| PXIe-4141 | R34JENC-R2-NS-NV-00 | S31HNNA-RNNL-00 |
| PXIe-2790 | SC105-001-T3 | S31JMNA-RNNM-00 |
| PXIe-1085 | P315-L | IMMFP12 |
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