TEL Tokyo Electron 3D80-000259-16控制器模块
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
一、基本信息
产品型号：3D80-000259-16
产品名称：控制器模块（Controller Module）
制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子）
模块类型：专用控制逻辑板 / 嵌入式控制器
适用设备：应用于 TEL 的半导体制造设备，如蚀刻机（Etcher）、CVD 系统、晶圆处理平台等。
二、功能定位
工艺单元控制核心
管理某个子系统的全部控制逻辑，例如：气体流量控制、真空泵操作、温控模块驱动等。
数据采集与控制输出
接收来自传感器的输入（温度、压力、气体流量等），并生成控制输出信号到执行器（阀门、泵、风扇等）。
系统状态管理与安全保护
监控设备状态，执行联锁控制、报警响应、异常处理逻辑等安全功能。
与主系统通信
通过 TEL 内部通信协议或工业总线（如 RS-485、CAN）与主控板或人机界面交换数据。
三、应用领域
CVD、Etch、Ashing、Coater/Developer 等制程设备子系统
气体配比控制单元（GDU）
温控模块（Heater / Chiller）
输送控制系统（Wafer Transfer / Load Port）
设备辅助功能控制，如抽气/排气、干燥、清洗等过程段
英文资料：
1、 Basic Information
Product model: 3D80-000259-16
Product Name: Controller Module
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
Module type: dedicated control logic board/embedded controller
Applicable equipment: Semiconductor manufacturing equipment used in TEL, such as etchers, CVD systems, wafer processing platforms, etc.
2、 Functional positioning
Process unit control core
Manage all control logic of a subsystem, such as gas flow control, vacuum pump operation, temperature control module drive, etc.
Data collection and control output
Receive inputs from sensors (temperature, pressure, gas flow, etc.) and generate control output signals to actuators (valves, pumps, fans, etc.).
System state management and security protection
Monitor equipment status, perform safety functions such as interlocking control, alarm response, and exception handling logic.
Communicate with the main system
Exchange data with the main control board or human-machine interface through TEL internal communication protocol or industrial bus (such as RS-485, CAN).
3、 Application Fields
CVD, Etch, Ashing, Coach/Developer and other process equipment subsystems
Gas Ratio Control Unit (GDU)
Temperature control module (Heater/Chiller)
Wafer Transfer/Load Port Control System
Control of auxiliary functions of equipment, such as extraction/exhaust, drying, cleaning and other process stages
2.产 品 展 示
3.其他产品
4.其他英文产品
ABB UN0807C-P Programmable Controller
HE700GEN200 Network Interface Module
| 750-P5-G5-S5-HI-A20-G | 8020-SCP-521 | 8030-HOM-271 |
| 750-P5-G5-S1-HI-A20-R | 8020-SCP-452 | 8030-HOM-261 |
| 750-P5-G5-D5-HI-A20-R-E | 8020-SCP-444 | 8030-GOM-221 |
| 750-P5-G5-D5-HI-A20-R | 8005-LNC-101 | 8030-EQ5138-G2 |
| 750-P5-G5-D5-HI-A20-G | 8005-LCB-10 | 8030-EQ5138-G1 |
| 750-P5-G1-S1-LO-A1-R-E | 8005-FCB-10 | 8030-EQ5-138-G2 |
| 750-P5-G1-S1-HI-A20-R | 8005-EPU-1 | 8030-EQ5-138-G1 |
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