TEL Tokyo Electron 2181-020129-11 PCB 组件

TEL Tokyo Electron  2181-020129-11 PCB 组件

1.产 品 资 料 介 绍：

TEL Tokyo Electron 2181-020129-11 PCB 组件简介

一、基本信息

• 型号： 2181-020129-11

• 名称： 气体接口板（Gas Interface Board）

• 制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）

• 应用领域： 主要用于半导体制造设备中的气体控制系统

二、功能与作用

1. 气体流路控制
   实现气体供应系统中的开关控制和流量调节，管理气体进出路径。

2. 信号处理
   接收来自气体传感器和执行器的反馈信号，处理控制指令。

3. 电子接口模块
   作为气体系统与主控制系统之间的电信号转换和传递桥梁。

4. 模块化设计
   方便设备维护时更换，支持快速修复和系统升级。

三、典型应用场景

• 半导体工艺设备的气体供应与调节系统

• 气体流量监控和安全联锁系统

• Etcher、CVD、ALD等设备的关键气体控制部分

• 设备维修和替换备件

英文资料：

Introduction to TEL Tokyo Electron 2181-020219-11 PCB Components

1、 Basic Information

Model: 2181-020219-11

Name: Gas Interface Board

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Application field: mainly used for gas control systems in semiconductor manufacturing equipment

2、 Function and Function

Gas flow path control

Implement switch control and flow regulation in the gas supply system, and manage the gas inlet and outlet paths.

Signal Processing

Receive feedback signals from gas sensors and actuators, and process control instructions.

Electronic interface module

As an electrical signal conversion and transmission bridge between the gas system and the main control system.

Modular design

Easy to ｒｅｐｌａｃｅ during equipment maintenance, supports quick repairs and system upgrades.

3、 Typical application scenarios

Gas supply and regulation system for semiconductor process equipment

Gas flow monitoring and safety interlock system

Key gas control components of Etcher, CVD, ALD and other equipment

Equipment maintenance and replacement of spare parts

2.产      品      展      示      

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