KLA Tencor 1300-50-01接口板

KLA-Tencor  1300-50-01接口板

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

KLA Tencor 1300-50-01 接口板（Interface Board）是一款用于半导体检测设备的关键电子模块，主要应用于 KLA Tencor 的 5100 和 5200 系列晶圆叠层（Overlay）检测系统中。

主要应用领域

1. 晶圆叠层检测系统
   该接口板广泛应用于 KLA Tencor 的 5100 和 5200 系列晶圆叠层检测系统中，负责接收和处理来自传感器的信号，实现对晶圆图案叠层精度的高精度检测。

2. 信号处理与数据管理
   在设备中，该接口板用于高速数据传输和处理，支持实时图像数据的采集和分析，满足高精度检测的需求。

3. 系统集成与扩展
   作为模块化系统的一部分，1300-50-01 接口板提供了灵活的接口，支持系统的扩展和升级，适应不同检测需求。

4. 设备维护与替换
   该模块作为标准化组件，便于设备维护人员进行快速更换和升级，减少设备停机时间，提高生产效率。

技术规格

• 型号：1300-50-01

• 功能：信号处理、系统控制、数据管理

• 兼容性：适用于 KLA Tencor 的 5100 和 5200 系列检测系统

英文资料：

The KLA Tencor 1300-50-01 Interface Board is a critical electronic module used in semiconductor inspection equipment, mainly used in KLA Tencor's 5100 and 5200 series wafer overlay inspection systems.

Main application areas

Wafer Stacking Inspection System

This interface board is widely used in KLA Tencor's 5100 and 5200 series wafer stacking detection systems, responsible for receiving and processing signals from sensors to achieve high-precision detection of wafer pattern stacking accuracy.

Signal Processing and Data Management

In the device, this interface board is used for high-speed data transmission and processing, supporting real-time image data acquisition and analysis, and meeting the requirements of high-precision detection.

System Integration and Expansion

As part of the modular system, the 1300-50-01 interface board provides flexible interfaces that support system expansion and upgrades, adapting to different detection needs.

Equipment maintenance and replacement

As a standardized component, this module facilitates quick replacement and upgrade by equipment maintenance personnel, reducing equipment downtime and improving production efficiency.

technical specifications

Model: 1300-50-01

Function: Signal processing, system control, data management

Compatibility: Suitable for KLA Tencor's 5100 and 5200 series detection systems

2.产      品      展      示      

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