TEL Tokyo Electron 3D81-000049-V2接口模块

TEL Tokyo Electron  3D81-000049-V2接口模块

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

产品型号

3D81-000049-V2
产品名称：接口模块（Interface Module）
制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）

一、产品功能概述

3D81-000049-V2 接口模块是 TEL 半导体设备中的一种电子通信或信号转接单元，主要用于在控制系统内部实现：

• 不同功能板卡（如主控板、驱动板、传感器板）之间的信号桥接与转换

• 外部设备与控制系统之间的电气接口管理

• 数字/模拟信号的输入输出分配与调理

二、典型应用领域

该模块广泛应用于 TEL 的多种设备中，尤其是在精密自动化系统与多信号交互控制场合，主要包括以下几类：

1. 晶圆搬运系统（Load Port / Transfer Module）

• 连接机械手、电机控制器、位置传感器、光电开关等

• 管理晶圆抓取、移动、对准等动作的信号流程

2. 气体控制与化学供应系统

• 接入 MFC（质量流量控制器）、电磁阀、压力传感器等

• 将模拟信号转换为控制命令，或上传数据至主控系统

3. 刻蚀/沉积腔体（Etch / CVD / ALD）区域

• 管理腔体内温度、压力、等离子体状态等信息的输入输出

• 与加热器控制、电源管理、真空阀逻辑连接

4. 系统通信或远程 I/O 扩展

• 扩展 TEL 控制系统的本地输入输出接口

• 兼容各类传感器、执行器和反馈模块

英文资料：

PRODUCT MODEL

3D81-000049-V2

Product Name: Interface Module

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

1、 Product Function Overview

The 3D81-000049-V2 interface module is an electronic communication or signal conversion unit in TEL semiconductor equipment, mainly used to implement:

Signal bridging and conversion between different functional boards (such as main control board, driver board, sensor board)

Electrical interface management between external devices and control systems

Input/output allocation and conditioning of digital/analog signals

2、 Typical application areas

This module is widely used in various TEL devices, especially in precision automation systems and multi signal interactive control scenarios, mainly including the following categories:

1. Wafer Handling System (Load Port/Transfer Module)

Connect the robotic arm, motor controller, position sensor, photoelectric switch, etc

Signal flow for managing wafer grabbing, movement, alignment, and other actions

2. Gas control and chemical supply system

Connect MFC (Mass Flow Controller), solenoid valve, pressure sensor, etc

Convert analog signals into control commands or upload data to the main control system

3. Etch/CVD/ALD cavity area

Input and output of temperature, pressure, plasma state, and other information within the management chamber

Logical connection with heater control, power management, and vacuum valve

4. System communication or remote I/O expansion

Expand the local input/output interface of TEL control system

Compatible with various sensors, actuators, and feedback modules

2.产      品      展      示      

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