TEL Tokyo Electron 1181-000255-18控制器模块

TEL Tokyo Electron  1181-000255-18控制器模块

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

一、基本信息

• 产品型号：1181-000255-18

• 产品名称：控制器模块（Controller Module）

• 制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子）

• 部件类别：主控制模块 / 设备子系统控制板

• 应用环境：用于 Tokyo Electron 半导体制造设备中的工艺控制系统或子系统控制

二、功能定位

1. 核心控制功能

   • 管理和执行设备工艺流程中的操作逻辑，如温度调节、气体流量、真空泵运行、阀门开闭等。

2. 设备状态管理

   • 实时监控各子系统运行状态，处理报警信息，并与上位机或主系统通信。

3. 通信与数据交互

   • 支持与主控系统或人机界面（HMI）之间的数据传输、命令接收与反馈响应。

4. 信号处理与输出

   • 接收来自传感器的模拟/数字信号，进行计算和决策后输出控制信号至执行单元。

三、应用领域

1. 半导体工艺设备（Etch、CVD、Ashing 等）

   • 控制某一特定子系统，如气体分配单元（GDU）、腔体温控系统、RF电源控制或输送系统。

2. 工艺参数自动控制模块

   • 实现关键参数闭环控制（如流量、温度、真空度等）。

3. 子系统独立运行平台

   • 具备一定自诊断和逻辑判断能力，可在主控失联时进行应急保护。

英文资料：

1、 Basic Information

Product model: 1181-000255-18

Product Name: Controller Module

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd

Component Category: Main Control Module/Equipment Subsystem Control Board

Application environment: Used for process control system or subsystem control in Tokyo Electron semiconductor manufacturing equipment

2、 Functional positioning

Core control function

Manage and execute operational logic in equipment process flow, such as temperature regulation, gas flow rate, vacuum pump operation, valve opening and closing, etc.

Equipment status management

Real time monitoring of the operating status of each subsystem, processing of alarm information, and communication with the upper computer or main system.

Communication and Data Interaction

Support data transmission, command reception, and feedback response between the main control system or human-machine interface (HMI).

Signal Processing and Output

Receive analog/digital signals from sensors, perform calculations and decisions, and output control signals to the execution unit.

3、 Application Fields

Semiconductor process equipment (Etch, CVD, Ashing, etc.)

Control a specific subsystem, such as gas distribution unit (GDU), chamber temperature control system, RF power control or delivery system.

Process parameter automatic control module

Implement closed-loop control of key parameters such as flow rate, temperature, vacuum degree, etc.

Subsystem independent operation platform

Capable of self diagnosis and logical judgment, able to provide emergency protection in case of loss of main control.

2.产      品      展      示      

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