TEL Tokyo Electron 3281-000138-12控制板

TEL Tokyo Electron  3281-000138-12控制板

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

产品名称：3281-000138-12 控制板
制造商：Tokyo Electron (TEL)
产品类型：电子控制板模块

一、产品概述

3281-000138-12 控制板是用于东京电子半导体设备中的控制核心组件之一，主要承担设备逻辑控制、信号处理和通信协调等功能。

二、主要功能

1. 控制设备运行流程，如开关控制、动作协调等。

2. 接收和发送数字/模拟信号，实现对现场传感器与执行器的实时控制。

3. 与上位系统或主控计算机通信，交换状态和参数数据。

4. 支持设备参数设定、故障反馈、报警联动等功能。

三、适用设备（可能包括）

• TEL 干法蚀刻设备

• TEL PVD/CVD 薄膜沉积设备

• TEL 涂胶显影设备（Coater/Developer）

• TEL 抛光设备（如 CMP）等

四、技术特性（通用控制板参考）

• 输入电压：常见为 24V DC

• 接口类型：RS-232、485、数字IO、模拟IO（依据版本）

• 处理器：嵌入式控制器或FPGA

• 安装方式：机架式插槽或独立固定安装

• 通信支持：可能支持 TEL 专有通信协议

英文资料：

Product Name: 3281-000138-12 Control Board

Manufacturer: Tokyo Electron (TEL)

Product Type: Electronic Control Board Module

1、 Product Overview

The 3281-000138-12 control board is one of the control core components used in Tokyo electronic semiconductor equipment, mainly responsible for equipment logic control, signal processing, and communication coordination functions.

2、 Main functions

Control the operation process of equipment, such as switch control, action coordination, etc.

Receive and send digital/analog signals to achieve real-time control of on-site sensors and actuators.

Communicate with the upper system or main control computer to exchange status and parameter data.

Support device parameter setting, fault feedback, alarm linkage and other functions.

3、 Applicable equipment (may include)

TEL dry etching equipment

TEL PVD/CVD thin film deposition equipment

TEL coating and developing equipment (Coater/Developer)

TEL polishing equipment (such as CMP), etc

4、 Technical characteristics (reference for general control board)

Input voltage: commonly 24V DC

Interface types: RS-232, 485, digital IO, analog IO (depending on version)

Processor: Embedded controller or FPGA

Installation method: Rack mounted slot or independent fixed installation

Communication support: may support TEL proprietary communication protocol

2.产      品      展      示      

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