TEL Tokyo Electron E244-00048-21单板计算机

TEL Tokyo Electron  E244-00048-21单板计算机

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

TEL Tokyo Electron E244-00048-21 单板计算机（Single Board Computer, SBC） 是 Tokyo Electron 半导体设备控制系统中的核心处理单元之一，主要负责执行工艺控制逻辑、通信管理、人机界面（HMI）处理及系统运行指令的下达。它是 E244 系列控制架构中的关键部件，常见于 TEL 的刻蚀、CVD、清洗、涂胶显影、晶圆搬运等高端设备中。

一、基本信息

• 产品型号： E244-00048-21

• 产品名称： 单板计算机（SBC）

• 制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）

• 类别： 控制主板 / 工业嵌入式计算平台

• 应用位置： TEL E244 控制架构中的核心CPU板卡

二、主要功能

1. 中央处理功能（CPU）

   • 运行TEL专用操作系统或嵌入式控制软件（如VxWorks或Linux变种）；

   • 处理所有来自工艺模块、传感器模块、执行机构的指令及数据。

2. I/O 信号管理

   • 管理来自输入输出模块（如 I/O 控制卡、采集卡）的数据信号；

   • 执行反馈控制逻辑、联锁判断及流程切换。

3. 通信与接口协调

   • 提供与现场总线、背板总线、Ethernet、RS232/RS485、CAN 等通信接口；

   • 与外围模块（如BX81、E249、DAQ模块）进行高速数据通信。

4. 数据处理与日志记录

   • 实时处理设备运行数据、报警信息和参数日志，提供过程追踪和回溯支持；

   • 连接人机界面（HMI）实现监视控制。

5. 工艺控制与流程调度

   • 控制如气路、温控、搬运动作、门阀等子系统的协同执行；

   • 实现多任务流程管理与工艺段切换。

英文资料：

TEL Tokyo Electron E244-00048-21 Single Board Computer (SBC) is one of the core processing units in the Tokyo Electron semiconductor equipment control system, mainly responsible for executing process control logic, communication management, human-machine interface (HMI) processing, and issuing system operation instructions. It is a key component in the E244 series control architecture, commonly used in TEL's etching CVD、 In high-end equipment such as cleaning, coating and developing, and wafer handling.

1、 Basic Information

Product model: E244-00048-21

Product Name: Single Board Computer (SBC)

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Category: Control Motherboard/Industrial Embedded Computing Platform

Application location: Core CPU board in TEL E244 control architecture

2、 Main functions

Central Processing Unit (CPU)

Run TEL dedicated operating systems or embedded control software (such as VxWorks or Linux variants);

Process all instructions and data from process modules, sensor modules, and actuators.

I/O signal management

Manage data signals from input/output modules such as I/O control cards and acquisition cards;

Execute feedback control logic, interlock judgment, and process switching.

Communication and interface coordination

Provide communication interfaces with fieldbus, backplane bus, Ethernet, RS232/RS485, CAN, etc;

High speed data communication with peripheral modules such as BX81, E249, DAQ module.

Data processing and logging

Real time processing of equipment operation data, alarm information, and parameter logs, providing process tracking and backtracking support;

Connect the human-machine interface (HMI) to achieve monitoring and control.

Process Control and Scheduling

Control the collaborative execution of subsystems such as air circuit, temperature control, handling actions, door valves, etc;

Implement multi task process management and process segment switching.

2.产      品      展      示      

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