TEL Tokyo Electron 2L81-050094-V2模拟输入电子模块

TEL Tokyo Electron  2L81-050094-V2模拟输入电子模块

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

TEL Tokyo Electron 2L81-050094-V2 模拟输入电子模块（Analog Input Module） 是TEL设备中用于采集和处理模拟量信号的关键电子模块，广泛应用于各类半导体制造设备的传感器数据采集、工艺监控与反馈控制系统中，是实现高精度工艺控制的重要硬件组成部分。

一、基本信息

• 产品名称：模拟输入电子模块

• 产品型号：2L81-050094-V2

• 制造商：Tokyo Electron Ltd.（TEL）

• 功能类别：模拟信号采集模块（AI Module）

• 应用位置：设备电控系统或传感器集成模块中

二、主要功能

1. 模拟信号采集

   • 支持多通道模拟输入，如电压（0–10V）、电流（4–20mA）等。

   • 接收来自温度传感器、压力传感器、流量计、位置反馈器等设备的连续信号。

2. 信号转换与调理

   • 将模拟信号转换为数字信号（A/D转换），供控制系统处理；

   • 内置滤波、隔离和放大功能，提高信号精度与稳定性。

3. 与控制系统通信

   • 将采集的工艺参数传送至主控PLC或嵌入式控制器；

   • 实现实时工艺数据反馈与闭环控制。

4. 异常检测与报警联动

   • 提供信号异常检测能力，如断线、超限、漂移等；

   • 支持设备报警、自动保护与联锁功能。

英文资料：

The TEL Tokyo Electron 2L81-050094-V2 Analog Input Module is a key electronic module used in TEL equipment for collecting and processing analog signals. It is widely used in sensor data acquisition, process monitoring, and feedback control systems of various semiconductor manufacturing equipment, and is an important hardware component for achieving high-precision process control.

1、 Basic Information

Product Name: Analog Input Electronic Module

Product model: 2L81-050094-V2

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Function category: Analog signal acquisition module (AI Module)

Application location: In equipment electrical control systems or sensor integration modules

2、 Main functions

Analog signal acquisition

Supports multi-channel analog inputs, such as voltage (0-10V), current (4-20mA), etc.

Receive continuous signals from temperature sensors, pressure sensors, flow meters, position feedback devices, and other equipment.

Signal conversion and conditioning

Convert analog signals into digital signals (A/D conversion) for processing by the control system;

Built in filtering, isolation, and amplification functions improve signal accuracy and stability.

Communication with control system

Transfer the collected process parameters to the main control PLC or embedded controller;

Realize real-time process data feedback and closed-loop control.

Abnormal detection and alarm linkage

Provide signal anomaly detection capabilities, such as wire breakage, over limit, drift, etc;

Support device alarm, automatic protection, and interlocking functions.

2.产      品      展      示      

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