TEL Tokyo Electron 3R81-000019-12数字量输入卡件

TEL Tokyo Electron  3R81-000019-12数字量输入卡件

1.产 品 资 料 介 绍：

TEL Tokyo Electron 3R81-000019-12 数字量输入卡件（Digital Input Board / Module） 是一款专用于半导体制造设备中的数字信号采集模块，用于接收外部设备（如传感器、开关、继电器等）发送的开关量信号。该卡件是控制系统的输入通道之一，广泛应用于工艺流程控制、设备状态监测和安全联锁等关键任务中。

一、基本信息

• 产品型号： 3R81-000019-12

• 产品名称： 数字量输入卡件 / Digital Input Module

• 制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）

• 功能类别： I/O 控制子模块（输入类）

二、核心功能

1. 采集开关信号

   • 接收如“开/关”、“到位/未到位”、“有信号/无信号”等二进制输入状态。

2. 与主控系统通信

   • 通过总线接口与 TEL 控制系统（如 CPU 模块或 PLC 系统）实时通信，上传采集到的状态数据。

3. 支持多通道输入

   • 支持多路输入通道（如8、16、32路），实现多个现场设备的状态监控。

4. 电气隔离设计

   • 通道之间采用光耦等隔离技术，提升抗干扰能力和设备电气安全性。

英文资料：

TEL Tokyo Electron 3R81-000019-12 Digital Input Board/Module is a digital signal acquisition module specifically designed for semiconductor manufacturing equipment, used to receive switch signals sent by external devices such as sensors, switches, relays, etc. This card is one of the input channels of the control system, widely used in key tasks such as process control, equipment status monitoring, and safety interlocking.

1、 Basic Information

Product model: 3R81-000019-12

Product Name: Digital Input Module

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Function category: I/O control submodule (input class)

2、 Core functions

Collect switch signals

Receive binary input states such as "on/off", "in place/not in place", "with/without signal", etc.

Communicate with the main control system

Real time communication with TEL control system (such as CPU module or PLC system) through bus interface, uploading collected status data.

Support multi-channel input

Support multiple input channels (such as 8, 16, 32) to achieve status monitoring of multiple on-site devices.

Electrical isolation design

Isolation technologies such as optocouplers are used between channels to enhance anti-interference capabilities and equipment electrical safety.

2.产      品      展      示      

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